دستگاهی برای تولید حسگر ایربگ

رضا عسگری مقدم، مجری این طرح لیتوگرافی و میکرو الکترومکانیک را از زمینه‌های تولیدی این شرکت دانش بنیان نام برد و گفت: ادوات میکرو الکترومکانیک کاربردهای قابل توجهی در صنایع مختلف دارد به گونه‌ای که در این شرکت تجهیزات و دستگاه‌هایی ساخته می‌شود که به وسیله آن امکان ساخت انواع سنسور خودرو از جمله سنسور ایربگ برای تولید کننده نهایی فراهم می‌شود.

شفقی

وی تولیددستگاه لیتوگرافی رومیزی را از دستاوردهای این شرکت دانست و اظهار کرد: این دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت، کپی کردن طرح یا الگوی موجود در ماسک با دقت بسیار بالا را دارد و دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت از ۰.۵ تا ۴ اینچ را دارد. علاوه بر آن در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده شده است.

دستگاه تطبیق ماسک دو طرفه از دیگر دستاوردهای این شرکت است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه‌های قبلی تطبیق داد، استفاده می‌شود. 

در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی می‌­شوند و در نتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شود که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد که دستگاه تطبیق ماسک در این زمینه دقت بالایی دارد.

علاوه بر آن برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده شود و تطبیق دوطرفه مورد نیاز است که این دستگاه از یک سیستم مکانیکی برای جابجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک بهره می‌برد. این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک‌های اپتیکی از دو طرف را دارا است که برای ساخت ادوات MEMS ضروری است.

ظفر

دقت این دستگاه ۲ میکرون اعلام شده است.